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真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

Pfeiffer普发 HiPace 1500U涡轮分子泵维修，Pfeiffer  HiPace 1500U普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1100L/s - 1450 L/s，转速为37800rpm，极限压力1X10-8 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer TC1200等。

干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用，包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此，应加强国产干式真空泵的研发，使之成为我国真空行业新的经济增长点。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵控制器涡旋分子泵

水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。涡旋分子泵

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入

低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

干式真空泵常见故障：

液体侵入

灰尘堆积

抽取稀有贵重气体

在极限压力下运行

不当的温度波动

温度控制

*抽空

启动泵

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Pfeifer Duoline旋片泵盖了中低真空范围(zui高为10-3 hPa)的所有应用。即使对于像干燥工艺、冶金工艺或树脂究注系统等要求苛刻的工业应用,这些泵也能提供可靠的操作一作为单独的泵，或者在我们的罗茨泵组或涡轮分子泵组中作为前级泵。得益于其创新性的驱动器概念，这些泵都被密封，使得它们清洁且与环境兼容。由于磁耦合旋片泵没有径向轴密封件，所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保养中心

真空泵维修：

真空泵全拆修叫做大修，对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有渗漏等现象；或者有些泵有下述现象之一者:

如泵发生“卡死”现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳（硅汕进入机械泵内，就可能产生这种情形），旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物（金属屑、玻璃屑、铜屑等）划伤泵腔，摩擦发热温升很厉害（超过70℃）等，均需将真空泵全拆开进行清洗修理。

根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：

(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。

(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。

(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为'高'真空。

若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。

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